真空干燥機的干燥過程是被干燥物料置放在密封的筒體內，在真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度差擴散到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。
 
真空干燥機干燥時干燥室壓力始終是負壓，氣體分子稀薄，含氧量低，因而適用于易氧化變質、易燃易爆的危險品及容易感染菌的食品;它可以除常壓干燥情況下易產生表皮干燥的情況。
 
在低壓下干燥時氧含量低，能防止被干燥物料氧化變質，可干燥易燃易爆的危險品；可在低溫下使物料中的水分汽化，易于干燥熱敏性物料；能回收被干燥物料中的貴重和有用的成分；能防止被干燥物料中有毒有害物質的排放。因此，真空干燥設備的應用日益廣泛。
 
 
真空干燥機具有布局簡單，操作便利，利用周期長，機能不變靠得住，蒸汽耗量小，真空干燥機實用機能強，產品質量好，格外實用于不高溫、易燃、調溫下易氧化的膏狀物料的干燥。　　
　
關于真空干燥機的維護，當真空度達到真空干燥機機物品要求時，應先關閉真空閥，再關閉真空泵電源，待真空度小于真空干燥機物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。